半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
投资项目题材
该客户为中国技术领先的半导体行业公测客户,地处长三角地区型的地方,重要去高端大气基带芯片的片区和封装类型检查。可能当地的环境的要求从紧,客户取决于实现生产废水0排放物过程。楼盘于2030年打火,2023-5年6月修建动工,整理的规模为200吨/日,总加盟约2000上万元。
废气化学成分及种类
此项重要性小学划片化工废水兼有下面共同点:
高含量氟化物,大部分出自于晶圆水刀切割后的擦拭工艺,氟化合物含量万代高达150-200mg/L
有nm级硅粉颗料,孔径多在100-500nm直接
充分负载较高,COD在500-800mg/L
包含微量分析巨资属如铅、镉等
电阻率高,通常情况下在2000-3000μS/cm
治疗技术步骤
为推动零直接排放对象,鑫霖环保方案比较偏重采取废水处理工艺总类采集而来和产品回笼:
生产废水分类整理获得装置
:将含氟鑫霖环保与另外鑫霖环保离婚收录
化工滤渣除氟
:选取两极钙盐沉垫法,配合默契高沉垫池
高等级硫化治理
:臭氧杀菌催化反应硫化化学降解难操作生物碳物
膜高浓设备
:采取DTRO碟管式反融入,溶缩4的倍数为10倍
汽化沉淀
:MVR机械设备制造液体再文件压缩减压蒸馏器加工处理浓水
烘干系统的
:将析出盐晾干后当做工业品副的产品外售
治疗使用效果
系统化进行数值提示 :
氟化物避开率>99.9%,溢水氟阳离子<1mg/L
COD总消除率>98%,出液COD<20mg/L
水状况英文回收处理率>95%,仅诞生少量出晶体盐
去年可收购 高的质量循环水约5万吨
晶体盐纯净度可达到化学工业级规范标准,体现网络综合利用利用
好项目不仅能达到了化工废水零排污,还使用成本收旧创造自己了约8070万/年的更多投资收益。