该晶圆加工厂设在西北位置,注意生孩子85英寸光电器件晶圆,平均废水处理污染物量约800吨。原因生孩子的时候中采用丰富盐酸去晶圆蚀刻,引起废水处理中氟化物氧浓度万代高达200-300mg/L,远超发达国家污染物标准的(10mg/L下例)。
废水处理工艺组分及因素
生产废水主要的发源这几个关键点:
晶圆蚀刻工艺
:含高质量浓度氟化物(HF)、硝酸铵及极富高价属
化学工业机械厂打磨(CMP)污水
:含納米级硅粉末、充分络合剂
机械设备洗掉污废水
:含异丙醇、挥发酚等生产物
治疗技术流量
分为"检查是否沉垫+沥青混凝土沉垫+厚度过滤程序"三阶段解决体统:
二级处里
:加药氯化钙和氢腐蚀钙,养成氟化钙发展,氟化物去掉率达85%
一级治理
:放入PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),剔除悬浊液态环境破坏物
两级处里
:采用多导电介质过滤程序器和特异性炭物理吸附,水流氟化物质量浓度平衡在8mg/L这
要素的设备属于:pH主动可以调节控制系统、斜管沉淀物中池、板框淤泥压滤机(淤泥脱水现象)。
决定性成效
产品进行3年探测资料显示信息:
氟化物的平均酸度:7.2mg/L(少于欧洲规范化)
COD去掉率:92%
废水含水量率:≤65%
年再进行氟化钙副物料约150吨,控制环境污泥处置进行