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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆加工厂设在西北位置,注意生孩子85英寸光电器件晶圆,平均废水处理污染物量约800吨。原因生孩子的时候中采用丰富盐酸去晶圆蚀刻,引起废水处理中氟化物氧浓度万代高达200-300mg/L,远超发达国家污染物标准的(10mg/L下例)。 废水处理工艺组分及因素 生产废水主要的发源这几个关键点: 晶圆蚀刻工艺 :含高质量浓度氟化物(HF)、硝酸铵及极富高价属 化学工业机械厂打磨(CMP)污水 :含納米级硅粉末、充分络合剂 机械设备洗掉污废水 :含异丙醇、挥发酚等生产物 治疗技术流量 分为"检查是否沉垫+沥青混凝土沉垫+厚度过滤程序"三阶段解决体统: 二级处里 :加药氯化钙和氢腐蚀钙,养成氟化钙发展,氟化物去掉率达85% 一级治理 :放入PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),剔除悬浊液态环境破坏物 两级处里 :采用多导电介质过滤程序器和特异性炭物理吸附,水流氟化物质量浓度平衡在8mg/L这 要素的设备属于:pH主动可以调节控制系统、斜管沉淀物中池、板框淤泥压滤机(淤泥脱水现象)。 决定性成效 产品进行3年探测资料显示信息: 氟化物的平均酸度:7.2mg/L(少于欧洲规范化) COD去掉率:92% 废水含水量率:≤65% 年再进行氟化钙副物料约150吨,控制环境污泥处置进行

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