业务游戏背景
武汉某半导体设备厂生产的进程中一同会产生高硅废渣(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟废渣(F⁻ 200-300mg/L)。二种废渣混合着后常出现氟硅酸电解质溶液,传统的化学沉淀物法易于可靠符合标淮。项目流程想要微信同步删去硅和氟(摆放标淮:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
工业废水材料及起源
大部分基本成分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
因素
:晶圆刻蚀工业污水、CMP磨细工业污水、生产设备情况呢水
补救生产技术生产工艺
一体化析出时期
:
两极反應池
:
首先级加药Ca(OH)₂自动生成CaF₂和CaSiO₃乳浊液;
二、级污泥脱水PAC(聚合物氯化铝)增强斜管沉淀池。
固液区分时段
:
反渗透膜设备
:选取0.02μm孔直径膜元件截流胶体溶液硅和微细沉淀出的物。
深度.脱氟时期
:
特异性硫化铝吸出塔
:稳定度氟阴离子溶解剔除。
然后感觉
满水后SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远依赖于國家标淮。
反渗透装置软件系统通量比较稳定在15LMH,催化刷洗周期性加长至60天。
污泥干化经压滤后含水分率<65%,可按一半固体废物处理救治。