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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为89英寸晶圆种植线配合的超纯净水设计,时刻呈现含硅废液150吨。废液中虽无高价属,但硅的含量高易水垢,且功率电阻率需符合18MΩ·cm也能造纸废水加工。本来的加工技艺未能要求新施行的《智能电子重工业水危害物废气废气排放基准》(GB39731-2020)格外废气废气排放卫生防护距离。 焦化废水部分特征 首要污染问题物 :氢氧化铁硅(200-300mg/L)、顆粒硅(粒度0.1-1μm) 特种耍求 :TOC<10μg/L,硼份量<5μg/L 水质标准因素 :低导电率(<50μS/cm)但硅无机化合物社会形态复杂的 处理施工工艺操作流程 转型升级进行"梯级膜拆分+电去阴离子"组装加工过程: 微滤预外理 :1μm瓷器膜过滤大颗粒剂硅,通量恢复80LMH 铝离子相互交换树脂胶 :D201大孔树脂材料的保护性气体吸附硅酸分子结构 二次RO模式 :首个段回收并率60%,最后段通过高脱硼膜电子器件 EDI电去阴阳离子 :电压比热容2A/m²,继续出掉残余物阴阳离子 紫外光臭氧消毒 :254nmUV紫外线灯线用量40mJ/cm² 技艺成效 搭建专用箱阻硅剂(有机会胺类和好物),延长时间膜环保问题时间间隔3倍 EDI控制模块改革创新流道设汁,硅彻底清除率加强至99.8% 在线视频硅分折仪(检测超范围0.1-500μg/L)实现了识贫的控制 开机运行预期效果 经第四方检查: 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L减至0.3μg/L 系统的回收公司率从原40%的提升至68% 膜更新期限延伸至5年,年开机运行成本费用降35%

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