某半导体材料电源芯片生导致产厂在晶圆工艺的过程中,适用硅烷完成硅外加导致,废气排放洗條塔导致高渗透压含硅污水。污水具有着pH价格波动大(2-11)、硅水平高的特征,传统意义净化处理的方式易导致硅垢不通事情。
化工废水组成成分及来历
电镀废水具体成份为:
溶解性性硅酸盐
:SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L
氢硫化钠/氢硫化钠
:洗洁塔酸碱平衡洗洁液杂质
颗粒肥料硅
:納米级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:原材残渣带往
工作生产工艺注意事项
革新选择"二级采和+膜净化+汽化晶体"施工工艺:
1阶段结合
:用CaO缓解pH至4-5,绘制硅酸钙水解,硅出掉率60%。
二级考试中合
:加Na₂CO₃将pH升级至9,进步沉淀物中剩于硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透膜系統
:0.02μm工业陶瓷膜滤出奈米级硅粉末,通量稳定性在80LMH。
MVR挥发器
:精提高盐废水处理方法,心得出Na₂SO₄副车辆,水循环率超90%。
终于治疗效果
总硅从1500mg/L高于5mg/L下面
砷水平从0.8mg/L降低0.01mg/L
系统性无水垢自动运行少于2年
去年回收并氢氧化钾钠结晶体约800吨