苏州某半导体材料IC芯片制造出厂,晶圆鑫霖环保时候中行成含硅、氟的特色电镀工业废水,设计构思处里规模性1200吨/日。电镀工业废水含量更复杂,内含微米级硅小粒及氢氧化钠,过去处里步骤不易于达到。
废污水组成及來源
首要造成的排放物
:橡胶胶体部分硅(100-500nm比表面积)、氟阴离子(200-300mg/L)、异丙醇
来历生产工序
:晶圆刻蚀废水处理工艺处理工艺(45%)、CMP检查是否自动化机械打磨废水处理工艺处理工艺(40%)、设施冲泡水(15%)
补救方法环节
自主创新应用"生物学发展+机械膜区分"技术性路线地图:
钙盐凝固
:加药氯化钙快速清理氟铝离子(绘制CaF2乳浊液)
水解酸化池想法
:结合水解酸化池剂变现橡胶胶体部分硅脱稳
管式微滤
:0.1μm钻孔大小膜挪用微细粒状
超滤到软件
:脱盐率>98%,回收处理率75%
蒸发器沉淀
:浓水段实现了氟化物零尾气排放标准
决定体验
氟化物渗透压:<8mg/L(大于國家七级标准的10mg/L)
硅分子量:<5mg/L
水物资造纸废水处理率:70%于闭式密闭式冷却塔塔皮肤补水
危险废物减轻:蒸发器渣子量较过去的鑫霖环保提高60%