半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体材料精致首测配套工程涉重废污水——MVR强行巡环零排品牌
大型项目时代背景
半导体设备技术高端大气首测创业工作,经营规模150m³米/天,是首批半导体设备技术首测设施涉重焦化污废水 零排创业工作。首测过程的镀镍、镀铜、引线整体布局完成后擦拭会行成含镍含铜焦化污废水 ,物流园区追求"无尾水外排",产水整个中水回用于产线。
水质检测表现与思路
废水治理 工艺以含镍为主导(密度10–100毫克/升),伴进样器铜、锌,pH上下波动大(2–12),也有光刻胶使用量的少量出有机酸物。公测厂活动场地紧,条件治理 设施管理征占小;零排预兆着浓水没有运输更多,务必本土蒸馏成果前馈。
正确处理工学艺线路
整体风格走"分质收集整理 → 规范化处理这一方面除杂 → 化学上的石雕文化沉淀除镍 → 过滤程序 → UF+有级RO → MVR被迫循坏化掉 → 蒸汽加热水回收利用":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢防腐蚀钠转为Ni(OH)₂沉定,后加混炼钠的深度捕集器残存镍(混炼镍Ksp比氢防腐蚀镍更小,可以将镍压到0.1毫克/升以內);
凝固出液经多有机溶剂过滤器水+物业保安过滤器水后进UF,再进一級RO,产水间接回产线拆洗;
RO浓水(含盐+残存天价属)进MVR禁止反复蒸馏器,禁止反复能扛高含盐积灰,蒸馏器预装手机在线难以清理,很容易堵;
MVR冷凝器水反回工业废水处理蓄水池,化掉残液委外燃烧或看做垃圾应对,所有加工区无等离子态外排。
关健装备的特点说
MVR强行循坏系统想必一般降膜汽化器,循坏系统水流量高、换热面很容易结镍盐/碳酸盐垢,适用首测这款"的水量不是很大但水硬度杂"的场面;三合一化撬装结构设计占地面积比以往汽化器塘+多效汽化器工作方案小60%上述;有害气体侧生活配套生物工程滤池,把调结池和生活污水间的有害气体收藏后光降解成CO₂和水,尽量不要首测厂紧临企业办公场地的味道投拆。
操作体验与经济收益
出水出水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,好于《化学镀空气污染物质尾气排放标准量标准》表三;全部150万立米/天产水回收利用于首测产线洗,方式等量新鲜松茸水;危险废弃物(汽化残液+污泥处理)量比常用"积淀+尾气排放标准量"传统模式减约70%。对富士康侧,首测顶目环境分级管理卡点挨打通;