半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
楼盘环境
该半导体芯片公司企业坐落在长四角省市,常见生產8英尺和12英尺晶圆,日排出物废的水量约2000吨。是由于生產鑫霖环保繁复,废水底具有刺激性多种类难降解塑料可挥发物和巨资属铁离子,常用除理的方式难于充分满足必将按照严格的排出物标准化。
污废水 部分及来自
废液处理施工工艺核心来源地于六个步骤:晶圆打孔废液处理施工工艺含更多硅粉和打孔液残渣;化学式物理打磨废液处理施工工艺含高胶体溶液硅和粉磨顆粒;刻蚀拆洗废液处理施工工艺含氟化物、铜阳离子等巨资属;光刻施工工艺废液处理施工工艺则含光阻剂等无机环保问题物。水的质量结构特征是COD高(800-1500mg/L)、氟化物氧化还原电位高(200-400mg/L)、自动隐藏物多且含轻微巨资属。
办理生产技术方案
运用"物理预治疗+生化模式治疗+深层治疗"的团体工艺设计:
转换池稳定水质量需水量
混疑放置快速清理漂浮物和悬浊液产物
有机化学凝固出的法有能整理氟化物,加药钙盐生成氟化钙凝固出的
水解反应酸性反应池提升 污水可血生化性
交往防氧化池溶解生物碳被污染的物
催化家用活性炭吸附性塔使用的深度除理
膜分离出来系统的保证 留水生活饮用水比较稳定
根据含铜工业废水分开如何设置阳离子变换体系,收集有价格的塑料铜。
终究治疗效果
工作完成后加载稳定性,出水量COD<50mg/L,氟化物有机废气溶度<5mg/L,铜亚铁离子有机废气溶度<0.3mg/L,哪项招生指标均依赖于政府《网上工业生产水水污染源尾气环保标准化》(GB 39731-2020)。年年可可以减少COD尾气产生约300吨,氟化物尾气产生约50吨,收售铜合金金属约2吨,满足了区域环境效率与划算效率的互利。